消費(fèi)者應(yīng)用這種氦質(zhì)譜檢漏儀能夠從根本上保證這種產(chǎn)品擁有良好的應(yīng)用價(jià)值，在我國更多的產(chǎn)品漏率檢查之中原先更好的技術(shù)支持，因此氦質(zhì)譜檢漏儀的優(yōu)勢更保證了我國產(chǎn)品漏問題檢查的質(zhì)量。檢漏儀全無油的干式檢漏：有些國家生產(chǎn)的檢漏儀，可采用干式泵，達(dá)到無油蒸氣的效果，為無油系統(tǒng)及芯片等半導(dǎo)體器件的檢漏，提供了有利條件。氦質(zhì)譜檢漏方法在真空檢漏技術(shù)領(lǐng)域里已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,這種方法的優(yōu)點(diǎn)是:檢漏靈敏度高,可以檢漏到10 -11 Pam3 / s 數(shù)量級,儀器響應(yīng)快,
真空檢漏 向各個(gè)加熱電極、爐體水套等通水腔體內(nèi)噴吹氦氣檢查泄漏情況。若檢漏多遍后升壓率仍不合格，可以用塑料布、膠帶對的焊口、法蘭連接處、熱電偶、電極等處進(jìn)行包裹罩封,然后向罩中噴入氮?dú)猓^察檢漏儀的漏率變化,如果緩慢上升,說明被包裹的位置存在漏點(diǎn)。 極限壓力不合格，升壓率合格 這種情況原因通常出現(xiàn)在粗抽閥到機(jī)械泵部分的各個(gè)連接管路的焊口及法蘭連接或真空泵本身性能。
儀器工作在穩(wěn)定的狀態(tài)，在儀器的檢漏口噴一定量的氦氣， 分別采取持續(xù)抽、空氣清氦、氮?dú)馇搴さ那搴し绞?，儀器再按開始鍵，記錄清氦所需時(shí)間。而通過實(shí)驗(yàn)表明，利用氮?dú)鈦砬搴さ男适歉叩摹?鑒于儀器在檢漏的過程中氮?dú)馇搴さ膬?yōu)越性，對儀器的系統(tǒng)進(jìn)行改進(jìn)。增加清氦電磁閥。在氦質(zhì)譜檢漏儀中增加氮?dú)馇逑丛O(shè)置，有效的避免了在檢漏過程中，氦氣殘留對儀器檢測靈敏度的影響，另外儀器控制中還可以增加大漏保護(hù)設(shè)置，即儀器在檢測到大漏時(shí)，儀器自動(dòng)停止，防止大量氦氣再進(jìn)入儀器中。再者將前級泵換成干泵也是不錯(cuò)的選擇，利于對儀器的清氦，保證儀器檢測的高靈敏度。
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